琉璃

　　1、靜電庫侖力

　　吸上粉塵、污物帶給無器件，增大活性碳濾網泄漏或造成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，最易使產品報廢，現在線徑更細，氧化膜很薄，很小粒徑塵粒子就會損害元器件，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

　　2、靜電放電ESD

　　①元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間融短。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時發生ESD，其向大地瞬間形成脈衝放電電流峰值可達20A(10~100s)，不要說高密度，細線徑，薄Sio2膜的Lsi、Vlsi、就是一般IC、MOS都會遭受損壞。

　　一般說器件絕緣柵Sio2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm，如果器件Sio2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人帶靜電超過50V、100V是極平常的。

　　②造成噪聲、發射電磁波干擾

　　ESD引起EMI其電磁波的前後峰較尖，信號強，相當與電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲，可能引起元器件損壞，設備和傳感器不正常工作，甚至引起設備死機。

　　ESD引起的EMI還會引發錯誤信號的輸入，或發生鎖存現像。如無塵室中，將晶園片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶園片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴散會引起園晶片處理機死機。

　　③電擊人體

　　人的ESD或對人的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時 ，人都會有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯誤。

　　半導體，平面顯示器，光電子等潔淨室，盡管做了很多工作，但潔淨室的靜電問題仍然影響著生產安全和產品產量，影響著制造成本和效益，影響產品的質量和可靠性。